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      設備介紹
      GNX300B
      l日本OKAMOTO生產
      l減薄尺寸:8”~12”
      l極限減薄厚度:100um
      l轉速:0~3600rpm
      l最小移動量:1um
      l單片誤差:10um
      l片間誤差:±5um
      VG502-MKII 8B
      l日本OKAMOTO生產
      l減薄尺寸:5”~8”
      l極限減薄厚度:100um
      l轉速:0~3600rpm
      l最小移動量:1um
      l單片誤差:10um
      l片間誤差:±5um
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